超平硅片
产品信息
STC已成功研制出单晶硅衬底,该衬底在小直径晶圆上也具有极高的平坦度。通常,TTV的直径最小极限在3um左右,而STC已达到1um上下。STC还可根据客户需求提供更优质的超平硅片。
超平硅片可作为键合或光刻工艺的硅衬底,因此适用于多种高精度器件。
此外,作为单晶硅衬底制造商,STC可从不对称的单晶硅锭边缘定制硅衬底厚度,为客户减少制造流程,节约时间和成本,提高良品率。
◎标准产品规格
- 直径:4, 6 inch
- TTV:≤1um(实力:≤0.5um)
- 导电型:P(B),N(Phos,Sb),FZ
- 结晶轴:<100>,<110>,<111>
- 电阻率: ≤0.005 ~ 40 Ωcm
- 面状态:SSP、DSP
◎主要用途
- 接合用基板
(SOI・LT・TC-SAW etc) - 光刻加工用基板
- 其他受TTV影响的工艺应用
◎有效事例
- 希望接合用支撑基板的薄化、希望缩减平坦化的时间和成本
- 改善外周部的成品率
<加工规格>
※承接其他可选加工
- 实现SOI平台自由化的口径微大化(101,151mm)
- 追加BOX氧化膜加工
- 定位化
- 未掺杂≥1000Ω品(FZ)
另外,对于需定制更高加工精度要求的客户,我们将与客户共同研究开发并反复实验