产品信息
STC生产单晶硅片，同时销售半导体晶圆材料。STC主要生产4-6寸单晶硅片和抛光片，均于STC工厂生产制造。 STC自行生产单晶硅锭，可为客户定制晶圆。
1. 单晶硅
产品规格
- 长晶工艺 : CZ(FZ)
- 直径 : 4寸,5寸,6寸,(8寸)
- 掺杂剂 : B, Phos, Sb, (As)
- 晶向 : <100>、<111>、<110>
电阻率 : 轻掺 0.1 ~ 40.0 ohm-cm 重掺 0.001 ~ 0.1 ohm-cm
- 氧浓度 : 10-18x10E17 atoms/cm3 (ASTM FM121-79)
- 碳浓度 : ≤5×10E16 atoms/cm3
- OSF：≤50 pcs/cm2
2. 常规硅片种类
- 抛光片(PW)
- 经抛光处理的低粗糙、高平整度、高洁净度硅片
- 腐蚀片(CW)
- 用化学腐蚀使晶圆表面光滑
- 研磨片(LW)
- 具有更佳曲度、光滑度和平行度的研磨片
如需定制产品请与我们联系。
3. 定制硅片
STC可定制背面损伤、氧化片和激光划线。