腐蚀片(CW)制造工艺
STC将晶棒切割成晶片形状,然后通过倒角工艺处理外形。再通过研磨工艺对晶片表面进行粗糙抛光,以减少腐蚀工艺带来的表面损伤,并通过退火工艺去除晶片中的氧分子稳定电阻率。
切片
将单晶硅棒用切片工具切成几何形状的薄晶片。
倒角
切片后的晶片外缘很锋利,为防止晶片边缘破裂以及在抛光处理中产生颗粒,将晶片的锐利边缘按照合适的直径修整成圆弧形。
研磨
晶片表面有切片和研磨造成的锯痕和表面损伤层,研磨能有效改善将单晶硅片的曲度、光滑度和平行度,达到一个抛光过程可以处理的规格。
腐蚀
经切片、倒角及研磨过程等机械加工后,晶片表面受加工应力而形成的损伤层采用化学腐蚀去除。
退火
在用直拉法长晶的过程中,石英坩埚中产生的氧会转换成氧施主并混入晶体。为获得稳定的电阻率值,STC将晶片放入高温炉中快速冷却,使氧施主回到间隙氧状态,消除氧施主对电阻率测试的影响。