株式会社シリコンテクノロジー

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ポリッシュドウェーハ加工

ウェーハの片面あるいは両面を鏡面加工します。

プレート接着

エッチング後のウェーハを鏡面研磨するために、セラミックプレートにウェーハの片面を接着し固定します。

自動接着装置
自動接着装置

鏡面研磨

CMP作用により高平坦で不純物の無い高品質な鏡面に仕上げます。

研磨装置
研磨処理